ตั้งแต่รับเวเฟอร์เข้าจนถึงการทดสอบขั้นสุดท้าย AWL series รองรับการตรวจด้วยแสงตลอดกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
สถานีตรวจเวเฟอร์ขนาดกะทัดรัด สร้างบนกล้องโลหะวิทยา SOPTOP MX68R — สแกน Wafer boat อัตโนมัติ จัดแนว Notch / Flat ล่วงหน้า และตรวจ Macro ทั้งด้านหน้าและด้านหลัง
ระบบ EFEM แบบปิดสนิท มีหุ่นยนต์แขนคู่ FOUP loadport และ Pre-aligner แบบไม่สัมผัส สร้างบนกล้อง SOPTOP MX12R เลือก Stage ได้ทั้งแบบควบคุมเอง (MS) อัตโนมัติเต็มรูปแบบ (AS) หรือ Linear motor ความแม่นยำสูง (RAS)
การลำเลียงเวเฟอร์ การตรวจ ข้อมูล และความปลอดภัย — ออกแบบมาสำหรับโรงงานผลิต (Fab)
แจ้งเตือนเวเฟอร์ที่เอียงหรือวางผิดตำแหน่ง
ตั้งทิศทางได้ 0°, 90°, 180° และ 270°
หาจุดศูนย์กลางด้วยแสงแบบไม่สัมผัส
Si · SiC · EMC · แก้ว
ระบบลำเลียงเวเฟอร์อัตโนมัติเต็มรูปแบบทำให้การตรวจ Macro และ Micro มีประสิทธิภาพ ระบบออปติกของ AWL บันทึกรายละเอียดระดับ Micro ได้คมชัด ส่วนโมดูล Macro และจอยสติ๊กควบคุมระยะไกลช่วยให้ตรวจ Macro ได้ทั้งแผ่นหลายมุม — เครื่องมือวิเคราะห์ตำหนิเวเฟอร์ที่มีประสิทธิภาพ
ซอฟต์แวร์ประมวลผลภาพที่ Sunny Instruments พัฒนาเอง ควบคุม Stage แกน Z Nosepiece และแหล่งกำเนิดแสง — ใช้กับ Windows 64-bit และกล้องตระกูล MX
| รุ่น | AWL046 | AWL068 |
|---|---|---|
| การลำเลียงเวเฟอร์ | ||
| ขนาดเวเฟอร์ | 100 / 150 mm | 150 / 200 mm |
| ความหนาเวเฟอร์ต่ำสุด | 150 µm | 150 / 180 µm |
| ตลับเวเฟอร์ | Open cassette / SMIF pod | |
| โหมดการตรวจ | Full / odd-number / even-number inspection / manual selection | |
| สแกน Wafer boat (มี / ไม่มี / เอียง) | ✓ | ✓ |
| แจ้งเตือนเวเฟอร์ยื่นออกจาก Boat | ≥ 4 mm | |
| Pre-alignment เวเฟอร์ (Flat, Notch) | ✓ | ✓ |
| การตั้งทิศทาง | Non-contact positioning of flat and notch; 0°, 90°, 180°, 270° | |
| ฟังก์ชันการตรวจ | Front macro (rotation); back macro 1 (outer ring, rotation); back macro 2 (center) | |
| ข้อกำหนดการติดตั้ง | ||
| ขนาด (กว้าง × ลึก × สูง) | 1450 × 700 × 1600 mm | 1550 × 700 × 1600 mm |
| ไฟฟ้า | 1P / 220 V / 10 A | |
| แก๊ส (แรงดันลบ / บวก) | −70 kPa ~ −80 kPa / 0.5 MPa | |
| ออปติก | ||
| กล้องจุลทรรศน์ | SOPTOP MX68R metallurgical microscope | |
| ระบบออปติก | Infinity-corrected with aberration correction; 50× – 1000× | |
| โหมดการส่อง | Bright field, dark field, polarizing, DIC | |
| เลนส์ตา (Eyepiece) | High eye-point wide-field plan PL10×/22 mm, with reticle, diopter adjustable | |
| หัวกล้อง (Viewing head) | Hinged trinocular, 5 – 35° tilt, erect image; IPD 50 – 76 mm; two-stage split, binocular : trinocular = 100:0 / 0:100 | |
| เลนส์ Objective | Long-WD plan BF/DF semi-apochromatic metallographic 5× / 10× / 20× / 50× / 100× | |
| Nosepiece (หัวเปลี่ยนเลนส์) | BF/DF 6-position electric nosepiece with DIC slot | |
| ตัวเครื่อง (Frame) | Reflected-light frame, low-position coaxial coarse / fine focus; coarse stroke 35 mm, fine accuracy 0.001 mm; anti-slip tension and upper-limit stop; built-in 100 – 240 V. BF/DF reflected illuminator with field diaphragm, electric variable aperture diaphragm, BF/DF switching, filter and polarizer slots; 12 V 10 W LED light box | |
| Stage (แท่นวางชิ้นงาน) | 6″ mechanical stage, low-position coaxial XY; wafer carrier Ø 38 mm, 360° rotatable; travel 228 × 170 mm; observation 170 × 170 mm; clutch handle | 8″ mechanical stage, low-position coaxial XY; wafer carrier Ø 60 mm, 360° rotatable; travel 280 × 210 mm; observation 210 × 210 mm; clutch handle |
| อื่น ๆ | Filter plate, polarizer / analyzer, DIC component, camera interface, adjustment platform, camera, professional wafer inspection software | |
| รุ่น | AWL812-MS | AWL812-AS | AWL812-RAS |
|---|---|---|---|
| การลำเลียงเวเฟอร์ | |||
| ขนาดเวเฟอร์ | 200 / 300 mm | ||
| ความหนาเวเฟอร์ | 250 – 1000 µm / 300 – 1000 µm | ||
| ตลับเวเฟอร์ | FOUP, FOSB / SMIF pod / open cassette | ||
| Loadport | 1 port | 1 port / 2 ports | |
| สแกน Wafer boat (มี / ไม่มี / เอียง) | ✓ | ||
| อ่าน RFID ของ FOUP | ✓ | ||
| Docking crane | — | อุปกรณ์เสริม (Optional) | |
| หุ่นยนต์ | Dual-arm robot | ||
| Pre-aligner | Non-contact optical alignment | ||
| อ่านรหัสเวเฟอร์ (OCR) | อุปกรณ์เสริม (Optional) | ||
| การตรวจ Macro | Front macro (rotation); back macro 1 (outer ring); back macro 2 (center) | ||
| ถ่ายภาพการตรวจ Macro | — | อุปกรณ์เสริม (Optional) | |
| แหล่งแสง Macro (LED) | White, yellow and green light | ||
| ข้อกำหนดการติดตั้ง | |||
| น้ำหนักเครื่อง | 1050 kg | 1350 kg | 1800 kg |
| ขนาด (1 Loadport) | 2400 × 1400 × 2350 mm | ||
| ขนาด (2 Loadport) | 2400 × 2050 × 2350 mm | ||
| FFU | ✓ | ||
| ระบบกำจัดไฟฟ้าสถิต (ESD) | ✓ | ||
| UPS | อุปกรณ์เสริม (Optional) | ||
| ไฟฟ้า | Single phase 220 V 50 Hz 16 A | Single phase 220 V 50 Hz 32 A | |
| ลมอัด (CDA) | 0.4 – 0.6 MPa | ||
| สุญญากาศ (VAC) | −70 kPa ~ −90 kPa | ||
| ออปติก | |||
| กล้องจุลทรรศน์ | SOPTOP MX12R metallurgical microscope | SOPTOP MX12RL metallographic illuminator | |
| ระบบออปติก | Infinity-corrected with aberration correction; 50× – 1000× | ||
| โหมดการส่อง | Bright field, dark field, polarizing, DIC | ||
| เลนส์ตา (Eyepiece) | High eye-point wide-field plan PL10×/25 mm, with reticle, diopter adjustable | ||
| หัวกล้อง (Viewing head) | Hinged trinocular, 0 – 35° tilt, erect image; IPD 50 – 76 mm; two-stage split, binocular : trinocular = 100:0 / 0:100 | ||
| เลนส์ Objective | Long-WD plan BF/DF semi-apochromatic metallographic 5× / 10× / 20× / 50× / 100× | ||
| ระบบโฟกัส | Manual focus | 5× auto pre-focus, optional real-time focus | Real-time focus |
| Nosepiece (หัวเปลี่ยนเลนส์) | BF/DF 6-position electric nosepiece with DIC slot | ||
| ตัวเครื่อง (Frame) | BF/DF reflected illuminator with field diaphragm, electric variable aperture diaphragm, BF/DF switching, filter and polarizer slots; 12 V 10 W LED light-source control unit | ||
| Stage (แท่นวางชิ้นงาน) | 12″ manual mechanical stage, low-position coaxial XY; wafer carrier Ø 70 mm, 360° rotatable; observation 305 × 305 mm; clutch handle | 12″ fully automatic stage, X / Y / Z / φ; wafer carrier Ø 70 mm, 360° rotatable; observation 310 × 310 mm; φ ±5°; high / low speed per axis | 12″ high-precision linear-motor automatic stage, X / Y / Z / φ; wafer carrier Ø 70 mm, 360° rotatable; observation 310 × 310 mm; φ ±5°; high / low speed per axis |
| ซอฟต์แวร์และข้อมูล | |||
| Wafer e-map พร้อมระบุตำแหน่งด้วยภาพ | — | อุปกรณ์เสริม (Optional) | ✓ |
| ระบบ Wafer review | — | ✓ | |
| นำเข้า / ส่งออกไฟล์ KLARF | — | ✓ | |
| การสื่อสารข้อมูล (SECS/GEM) | อุปกรณ์เสริม (Optional) | ✓ | |
| อื่น ๆ | Filter plate, polarizer / analyzer, DIC component, camera interface, camera, professional wafer inspection software | ||
บอกขนาดเวเฟอร์ ประเภทตลับ และระดับความอัตโนมัติที่ต้องการ แล้วเราจะแนะนำชุด AWL ที่เหมาะสม
ขอใบเสนอราคา